法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-22
授权
授权
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/25 申请日:20160312
实质审查的生效
2016-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/25 申请日:20160312
实质审查的生效
2016-07-27
公开
公开
2016-07-27
公开
公开
机译: 用于半导体生产和测试中的紫外线的折反射显微物镜在折射部分和偏轴反射处具有大块的镜体
机译: 折反射光场透镜和包括其的图像拾取装置
机译: 折反射光场透镜和包括其的图像拾取装置