法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-22
授权
授权
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):B60C23/06 申请日:20150701
实质审查的生效
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):B60C 23/06 申请日:20150701
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
2017-05-31
公开
公开
机译: 自动检测最佳光刻工艺参数的装置和使用相同方法自动检测最佳光刻工艺参数的方法
机译: 自动检测系统,检验目标读取装置,用于自动检测系统,以及自动检测系统的控制方法
机译: 自动检测系统,检验目标读取装置,用于自动检测系统,以及自动检测系统的控制方法