一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法

摘要

一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法，在吸片台上进行，包括以下步骤：（1）将吸片台表面用蘸有无水乙醇的无尘纸擦拭干净；（2）将中心厚度与边缘厚度的差值大于10μm的蓝宝石衬底放置在吸片台上；（3）将衬底吸附在吸片台上；（4）使蓝宝石衬底旋转；（5）用油石对衬底边缘进行磨边，磨边后使蓝宝石衬底的中心厚度与边缘厚度的差值不大于10μm；（6）将蓝宝石衬底取下；（7）去离子水中超声清洗；（8）去离子水中清洗；（9）烘干。该方法操作简单、易实现、成本低、效率高，主要针对中心与边缘厚度差超过10μm的蓝宝石衬底，可有效降低翘曲度，改善后续减薄质量，降低边缘掉边及裂片异常，提高产品良率。