公开/公告号CN106979722B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市帝泰光电有限公司;
申请/专利号CN201710359352.X
发明设计人 贺方建;
申请日2017-05-19
分类号
代理机构深圳市汉唐知识产权代理有限公司;
代理人周丹
地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街道凤凰村田螺山小区31号601
入库时间 2022-08-23 10:26:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-26
授权
授权
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):F41G1/32 申请日:20170519
实质审查的生效
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):F41G 1/32 申请日:20170519
实质审查的生效
2017-07-25
公开
公开
2017-07-25
公开
公开
2017-07-25
公开
公开
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机译: 全视野两用镜装置
机译: 用于EUV波长范围的反射镜,用于该反射镜的基板,用于包括该反射镜或基板的用于微光刻的投影物镜以及用于包括该投影物镜的用于微光刻的投影曝光设备
机译: EUV波长区域镜,镜基板,包括该镜或基板的微光刻投影物镜以及包括投影物镜的微光刻投影曝光设备