喷墨打印头芯片及其制造方法、以及喷墨打印头

摘要

一种包括一个晶片衬片(12)的喷墨打印头芯片。一个CMOS驱动电路层置于晶片衬片上。多个喷嘴装置置于晶片衬片和CMOS驱动电路层上。每个喷嘴装置包括喷嘴腔壁和一个顶壁，所述喷嘴腔壁和顶壁确定一个喷嘴腔和一个确定于所述顶壁中的喷墨口(35)。一个微电子机械致动器(14)连接到CMOS驱动电路层。所述致动器具有至少一个热弯曲致动器(14)，所述热弯曲致动器定位为在从驱动电路层接收到一个信号时作用于喷嘴腔中的墨而使得喷墨口喷墨。所述热弯曲致动器与CMOS驱动电路层间隔6微米至10微米。