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良否判定装置、判定程序、方法以及多变量统计解析装置

摘要

一种良否判定装置、良否判定程序、良否判定方法以及多变量统计解析装置,利用成为良否判定主要因素的多个参数及其良否判定结果,计算出判别函数。在判别函数中,生成对于合格类与不合格类的直方图,并为了根据各类别中的标准偏差而得到按照意图的漏检率及过检率来决定阈值。通过基于该阈值判定良否判定对象的良否,能够按照意图控制漏检率及过检率,实现不需要积蓄技术技巧的高性能的良否判定。因此,解决了以往即使是利用判别分析、进行变量Z=0处的阈值判别,但如果不通过人的目测与实际的运用来积蓄技术技巧,就不进行允许实际应用的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN1312469C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-04-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN03154395.2

  • 发明设计人 井角康男;平野恒;

    申请日2003-08-21

  • 分类号G01N21/88(20060101);H01L21/66(20060101);H05K3/34(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人李香兰

  • 地址 日本国爱知县

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-04-25

    授权

    授权

  • 2004-06-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-04-14

    公开

    公开

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