原料熔融液液面与晶种下端的间隔测定方法、晶种的预热方法及单晶的制造方法

摘要

间隔测定方法，其为在使晶种的下端与坩埚内的原料熔融液接触而在所述晶种的下端培养单晶之前，测定所述原料熔融液的液面与配置于所述原料熔融液上方的晶种的下端的间隔的方法，其中，通过光学方法，获得实像下端点的位置信息和镜像点的位置信息，所述实像下端点是所述晶种下端的特定点，所述镜像点是映出于所述液面的所述晶种的镜像中与所述实像下端点对应的点；在所述实像下端点的位置与所述镜像点的位置一致的点，所述原料熔融液的液面与所述晶种的下端的间隔为0，从而求出所述原料熔融液的液面与所述晶种的下端的间隔。通过该方法，可在晶种与原料熔融液液面接触之前，准确地测定原料熔融液液面与晶种的间隔。