用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜

摘要

本发明涉及一种用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜(1)，该反射镜带有用于反射该射束的入射线的反射镜元件、用于固定该反射镜元件的基体以及用于向该反射镜元件施加力(F)的至少一个致动元件(4)，其中该反射镜元件是带有至少1mm厚度(d)的平面元件(2)并且该致动元件(4)是带有多个杠杆元件(5)的杠杆机构。本发明还涉及一种用于补偿射束(12.1，12.2)的不规则性的方法以及带有根据本发明的反射镜(1)的光学安排。