deformable mirror; spherical aberration; MEMS; silicon wafer; reflective film;
机译:使用可变形镜的球面镜聚焦的离轴像差补偿
机译:用于球面像差补偿的非接触式可变形镜驱动器
机译:一种新颖的可变形球面像差镜
机译:球面像差补偿用变形镜的研制
机译:氮化硅可变形反射镜,用于微光学系统中的聚焦和球差校正。
机译:具有自适应控制一次和更高阶球面像差的四区变焦镜头
机译:在自适应光学系统中使用可变形反射镜进行望远镜波前像差补偿
机译:在自适应光学系统中使用可变形反射镜进行望远镜波前像差补偿