用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置以及方法

摘要

本发明提供了一种用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置，包括：柔性支撑镜框，柔性支撑结构，镜框调整架，电阻片，控制板卡，及固定螺钉；所述柔性支撑镜框通过所述柔性支撑结构与反射镜光学元件连接；所述镜框调整架与所述柔性支撑镜框通过螺钉固定连接；所述电阻片与反射镜光学元件的背面共面；所述控制板卡通过线缆连接所述电阻片，用于控制所述电阻片的温度。本发明一方面能够实现反射镜光学元件的低应力支撑，另一方面可以补偿反射镜自身重力作用引起的像差，最终能够实现亚纳米精度的光学检测。