提取线上过程控制工具的全面设计导引及其方法

摘要

本发明提供用于提取晶片的线上过程控制的全面设计导引的方法及系统。一种方法包含：自动识别待形成于晶片上的装置的设计中的潜在边限性。所述方法还包含：自动产生所述潜在边限性的信息。所述自动产生的信息用于设置对所述晶片的过程控制。