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集成电路封装焊盘以及形成方法

摘要

本发明提供一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括具有通孔的集成电路,通孔邻近集成电路管芯,其中,在集成电路管芯和通孔之间插入模塑料。通孔具有延伸穿过图案化层的凸出物,并且通孔可以从图案化层的表面偏移。可以通过选择性地去除用于形成通孔的晶种层形成凹槽。本发明实施例涉及集成电路封装焊盘以及形成方法。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-18

    授权

    授权

  • 2016-07-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/48 申请日:20151127

    实质审查的生效

  • 2016-07-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/48 申请日:20151127

    实质审查的生效

  • 2016-06-15

    公开

    公开

  • 2016-06-15

    公开

    公开

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