公开/公告号CN102879903B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡微奥科技有限公司;
申请/专利号CN201210397690.X
申请日2012-10-18
分类号
代理机构北京品源专利代理有限公司;
代理人胡彬
地址 214028 江苏省无锡市无锡新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室
入库时间 2022-08-23 10:24:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-01
授权
授权
2015-03-25
著录事项变更 IPC(主分类):G02B26/08 变更前: 变更后: 申请日:20121018
著录事项变更
2015-03-25
著录事项变更 IPC(主分类):G02B 26/08 变更前: 变更后: 申请日:20121018
著录事项变更
2013-10-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20121018
实质审查的生效
2013-10-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 26/08 申请日:20121018
实质审查的生效
2013-01-16
公开
公开
2013-01-16
公开
公开
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机译: MEMS扫描微镜和双轴电磁MEMS扫描微镜器件
机译: MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件
机译: MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件