公开/公告号CN105607185B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201610159366.2
申请日2016-03-21
分类号G02B6/122(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 10:24:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-08
授权
授权
2016-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B6/122 申请日:20160321
实质审查的生效
2016-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/122 申请日:20160321
实质审查的生效
2016-05-25
公开
公开
2016-05-25
公开
公开
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