首页> 中国专利> 一种耙状悬臂梁结构的微探针及其制备方法

一种耙状悬臂梁结构的微探针及其制备方法

摘要

本发明公开了一种耙状悬臂梁结构的微探针及其制备方法,该微探针包括一组悬臂梁和在微探针制程中在一组悬臂梁的末端保留或增设的连接结构,该连接结构用于对所述悬臂梁末端的侧向运动进行约束。采用本发明结构的微探针,通过连接结构来限制各悬臂梁的侧向抖动/振动,有效地实现对悬臂梁的抖动/振动控制,克服了测量结果不稳定性的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN105785083B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-01-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 义乌臻格科技有限公司;

    申请/专利号CN201610226729.X

  • 发明设计人 朱干军;

    申请日2016-04-12

  • 分类号G01R1/067(20060101);B81B3/00(20060101);

  • 代理机构34125 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人郭华俊

  • 地址 322009 浙江省义乌市苏溪镇苏福路219号

  • 入库时间 2022-08-23 10:24:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-15

    授权

    授权

  • 2018-11-30

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G01R 1/067 登记生效日:20181113 变更前: 变更后: 申请日:20160412

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-11-30

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G01R 1/067 登记生效日:20181113 变更前: 变更后: 申请日:20160412

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R1/067 申请日:20160412

    实质审查的生效

  • 2016-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R1/067 申请日:20160412

    实质审查的生效

  • 2016-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 1/067 申请日:20160412

    实质审查的生效

  • 2016-07-20

    公开

    公开

  • 2016-07-20

    公开

    公开

  • 2016-07-20

    公开

    公开

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