用于转移微元件的转置头及微元件的转移方法

摘要

本发明公开了一种用于转移微元件的转置头及微元件的转移方法，包括：具有真空路径的腔体，以及具有若干个吸嘴和若干个真空路径部件的套件，所述吸嘴被设置成分别与所述真空路径部件相通，所述真空路径部件被形成为分别与形成于所述腔体中的真空路径相通，且所述吸嘴使用真空压力吸附微元件或释放微元件，所述真空压力经由各通路中的真空路径部件和真空路径传送，其特征在于：当所述套件安装到所述腔体时，套件的上表面设置有光学开关组件，用于控制各通路中的真空路径部件与真空路径的开或关，从而控制吸嘴使用真空压力吸附或释放所需的微元件。