Cr2O3掺杂Al2O3溅射靶材的制备方法

摘要

Cr₂O₃掺杂Al₂O₃溅射靶材的制备方法，选择粒径为0.5‑6μm的球形Cr₂O₃粉和Al₂O₃粉为原料，按比例混合均匀压制毛坯，然后置于大气烧结炉中进行烧结，降温后对半成品进行加工处理，得到Cr₂O₃掺杂Al₂O₃溅射靶材。离子掺杂改善Al₂O₃薄膜的晶型，相对理论密度高，制备出的薄膜膜层致密，不易从基体脱落，导电和发光等特性提高，而且寿命长。