氮化铝烧结坯、金属化基片、加热器、夹具以及制造氮化铝烧结坯的方法

摘要

本发明提供一种与传统工艺相比具有较大面积和较小厚度的氮化铝烧结体，其中氮化铝烧结体具有受控的翘曲和/或波纹高度的平整度。本发明还提供制造这种烧结体的方法，并还提供使用这种烧结体的金属化基片和加热器。一种氮化铝烧结体(1)，其最大长度等于或大于320mm，厚度大于0mm并且等于或小于2mm，翘曲等于或大于0μm/mm并且小于2μm/mm，局部波纹高度等于或大于0μm并且等于或小于100μm。