波长可调谐外腔激光器及可调光发射模块

摘要

本申请涉及一种波长可调谐外腔激光器，包括半导体光放大器芯片和激光器外腔，所述激光器外腔包括栅格滤波器、相位调整器和硅基微环芯片；其中，所述栅格滤波器与所述硅基微环芯片组成并一个波长可调谐的光滤波器，通过所述栅格滤波器和/或所述硅基微环芯片的谱线调谐来实现其所组成的光滤波器的波长调谐。该可调谐外腔激光器的硅基微环芯片中的微环滤波器采用成熟的硅光技术制作，可以极大的降低可调滤波器的制作难度，降低器件的制作成本，可以利用现有的外腔可调激光器技术平台平滑过渡，提高该类型器件的集成度，简化制备工艺。