公开/公告号CN106158696B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201510186200.5
申请日2015-04-17
分类号
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人余明伟
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:21:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-14
授权
授权
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20150417
实质审查的生效
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20150417
实质审查的生效
2016-11-23
公开
公开
2016-11-23
公开
公开
机译: 一种集热管,该集热管在具有反射器的集热装置中包括腔体,其制造方法以及用于将反射光施加到腔体的反射装置
机译: 制造方法,该方法基本上是中空的三维形状和形体,其变形和弹性可根据其至少一种内腔体中存在的至少一种流体的量和质量来控制,并通过该方法获得
机译: 制造方法,该方法基本上是中空的三维形状和形体,其变形和弹性可根据其至少一种内腔体中存在的至少一种流体的量和质量来控制,并通过该方法获得