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一种提高制造机台腔体产出效率的方法及系统

摘要

本发明提供一种提高制造机台腔体产出效率的方法及系统,包括:获取并暂存腔体上一批次产品的工艺条件参数值以及工艺结束时间;计算上一批次最后一片产品工艺结束到下一批次第一片产品进腔体开始工艺的闲置时间间隔值,判断所述时间间隔值是否大于预设值,若所述时间间隔值大于预设值,则进行暖机操作,否则继续进行产品工艺;进行暖机操作,监测暖机过程中腔体的工艺条件参数值,若暖机过程中监测到腔体的工艺条件参数值达到暂存的工艺条件参数值,则停止暖机;记录不同的时间间隔值对应所需要的暖机控片数量,为下次暖机操作提供参考。通过该系统可以快速判断腔体是否可以继续生产,极大的提高机台的利用率和产出效率,并能够减少生产中暖机控片的使用量,节约成本。

著录项

  • 公开/公告号CN106158696B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-12-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201510186200.5

  • 发明设计人 莫违;方利;李武;

    申请日2015-04-17

  • 分类号

  • 代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);

  • 代理人余明伟

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

  • 入库时间 2022-08-23 10:21:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-14

    授权

    授权

  • 2016-12-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20150417

    实质审查的生效

  • 2016-12-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20150417

    实质审查的生效

  • 2016-11-23

    公开

    公开

  • 2016-11-23

    公开

    公开

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