处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法

摘要

本发明涉及一种处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法，在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉图时引入sobel算子，通过空间方向滤波分离超薄平板前后表面干涉条纹，然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹，从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针前后表面产生交叉式干涉条纹的超薄平行平板的条纹图处理，可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。