波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法

摘要

本发明涉及一种波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法。本发明在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉信号后利用盲信号分离技术，引入FAST‑ICA算法，通过快速迭代算法分离超薄平板前后表面干涉条纹，然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹，从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针对波长移相中超薄平行平板的条纹图处理，为这类超薄平板前后表面信息分离提供了一种方法，可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。