法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-30
授权
授权
2016-01-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20140314
实质审查的生效
2016-01-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20140314
实质审查的生效
2015-12-23
公开
公开
2015-12-23
公开
公开
机译: 研磨垫表面形状测定装置,研磨垫表面形状测定装置的使用,研磨垫的锥顶角的测定方法,研磨垫的槽深度测定方法,CMP研磨装置及其制造方法半导体器件
机译: 研磨垫表面形状测定装置,研磨垫表面形状测定装置的使用方法,研磨垫的锥顶角的测定方法,研磨垫的槽深的测定方法,CMP研磨装置及其制造方法半导体器件
机译: 钢板形状测定方法、形状测量方法、形状控制方法、制造方法、形状测定模型的生成方法及形状测定装置