首页> 中国专利> 形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、及形状测定程式

形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、及形状测定程式

摘要

降低为设定点群数据的抽出区域的不便。该形状测定装置,具备将测定光投影于测定对象的测定区域的投影部,拍摄测定光投影的测定对象的摄影部,相对测定对象使投影部或摄影部相对移动以改变测定对象的测定区域的位置的移动机构,以及根据往各个不同测定区域投影该测定光时以该摄影部拍摄的该测定光的像的位置、设定从以该摄影部拍摄的拍摄图像算出该测定对象的位置所使用的图像信息的抽出区域的抽出区域设定部。

著录项

  • 公开/公告号CN105190228B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-11-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社尼康;

    申请/专利号CN201480018343.9

  • 发明设计人 神藤建太;

    申请日2014-03-14

  • 分类号

  • 代理机构北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人郭晓宇

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 10:21:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-30

    授权

    授权

  • 2016-01-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20140314

    实质审查的生效

  • 2016-01-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20140314

    实质审查的生效

  • 2015-12-23

    公开

    公开

  • 2015-12-23

    公开

    公开

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