一种集成的差分硅电容麦克风

摘要

本发明提供了一种使用2个或4个差分MEMS敏感元件并联的、共用声腔的集成硅电容麦克风，其包括：相结合的外壳和基板，且其中之一上设有进音孔；2个或4个相互匹配的差分MEMS敏感元件；集成电路；声腔，其中，集成电路用于对声波经进音孔、声腔到各差分MEMS敏感元件转化为的电信号进行缓冲/放大和输出，集成电路与各差分MEMS敏感元件之间的电气排布和连接方式为轴对称或镜像对称关系。由于采用本发明的手段，差分硅电容麦克风的线性度、最大声压级等性能指标得到提高。