法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-16
授权
授权
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20160111
实质审查的生效
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/418 申请日:20160111
实质审查的生效
2016-06-15
公开
公开
2016-06-15
公开
公开
机译: 单臂多集群工具的最佳缓冲区空间配置和调度
机译: 单臂多集群工具的最佳缓冲区空间配置和调度
机译: 具有两个空间缓冲模块的单臂多类工具的单晶圆循环调度