一种白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法

摘要

一种白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法。其包括)利用白光干涉轮廓仪对被测物体进行垂直大范围扫描和图像采集，并使用能量梯度函数及穷举法在图像中定位出最佳干涉位置；使用ViBe算法进行白光干涉条纹提取并对提取结果进行二值化处理，由此完成白光干涉条纹识别；利用步进电机驱动压电陶瓷移相器及干涉物镜向上而后向下运动，针对运动中CCD相机获取的每一帧图像进行所述步骤2)的条纹识别操作，并依据获取的二值化后的提取结果获取扫描区间等步骤。本发明方法能够极大提高对于干涉条纹的感知能力，完成扫描范围的自动规划，有效提高了白光干涉轮廓仪扫描效率与扫描数据利用率。