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溅射的透明导电的铝掺杂的氧化锌膜

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摘要

批露了通过脉冲DC使用氧化物靶在透明基片上沉积的AZO膜，其组成范围是0.5‑2重量％Al

1. 溅射的透明导电的铝掺杂的氧化锌膜 [P] . 中国专利： CN105051244B . 2018.11.16
2. 氧化镓-氧化锌系溅射靶、透明导电膜的形成方法及透明导电膜 [P] . 中国专利： CN101208453B . 2010.05.19
3. ZINC OXIDE BASED SPUTTERING TARGET, METHOD FOR MANUFACTURING ZINC OXIDE BASED SPUTTERING TARGET, ZINC OXIDE BASED TRANSPARENT ELECTRICALLY CONDUCTIVE FILM, METHOD FOR MANUFACTURING ZINC OXIDE BASED TRANSPARENT ELECTRICALLY CONDUCTIVE FILM, AND ELECTRONIC APPARATUS [P] . 美国专利： US2010123103A1 . 2010-05-20

机译：基于氧化锌的溅射靶材，制造基于氧化锌的溅射靶材的方法，基于氧化锌的透明导电膜，制造基于氧化锌的透明导电膜的方法以及电子
4. Conductive transparent aluminum doped zinc oxide sputtered films [P] . JP6979938B2 . 2021-12-15

机译：导电透明铝掺杂氧化锌溅射膜
5. Conductive transparent aluminum doped zinc oxide sputtered film [P] . 日本专利： JP2015535892A . 2015-12-17

机译：导电透明铝掺杂氧化锌溅射膜