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施昌勇; 沈克明;
北京服装学院基础部;
中国科学院等离子体物理所;
透明导电膜; 性能; 溅射电压; 氧化锌; 铝掺杂;
机译:铝掺杂氧化锌溅射透明导电氧化物薄膜靶材的致密化,微观结构和电性能
机译:分步沉积对直流磁控溅射制备透明导电掺铝氧化锌薄膜结构和性能的影响
机译:工艺参数对射频磁控溅射掺杂氧化锌透明导电薄膜生长和性能的影响
机译:厚度对脉冲磁控溅射掺杂氧化锌氧化锌透明导电薄膜性能的影响
机译:临界溅射参数对透明导电氧化物应用中铝氧化锌薄膜的影响
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:衬底温度对直流磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响
机译:反应共溅射制备高透明导电铝掺杂氧化锌薄膜(后印刷)。
机译:溅射透明导电铝掺杂氧化锌薄膜
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