一种固体润滑多层复合膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种固体润滑多层复合膜及其制备方法。固体润滑多层复合膜依次由基体（1）、金属底层Me（2）、CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS₂‑Me层（5）构成。其制备方法：采用磁控溅射方法，首先在基体（1）上沉积金属底层（2），然后依次沉积CuNiIn层（3）、金属过渡层Me（4）和MoS₂‑Me层（5），交替沉积形成多层结构，最外层为MoS₂‑Me层（5）。本发明的多层结构的固体润滑复合膜具有结合强度高、摩擦系数低的性能特点，摩擦系数低至0.06，具有优良的自润滑、抗咬合性能和耐磨寿命，可应用在轴承、齿轮、叶片、工模具等部件上。