具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法

摘要

本发明提供一种具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法。该清洗组件包括第一喷淋机构和第二喷淋机构，第一喷淋机构用于喷淋蚀刻液，第二喷淋机构设置于第一喷淋机构的上方，第二喷淋机构用于在第一喷淋机构停止喷淋蚀刻液时喷淋清洗液，以对第一喷淋机构进行清洗。基于此，本发明能够对蚀刻腔室内进行随时清洗，减少蚀刻液挥发产生的结晶体，降低由结晶体导致的危害。