新共聚物及光致抗蚀组合物

摘要

本发明包括聚合物和以该聚合物作为树脂基料成分的光致抗蚀组合物。本发明聚合物包含羟金刚烷基官能度。本发明光致抗蚀剂包括可在短波长如亚-200纳米，特别是193纳米辐射下有效成象的化学放大正型抗蚀剂。