一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统及方法

摘要

一种磁悬浮平面电机动子悬浮高度测量系统及方法，该系统包括八个Z向电涡流传感器、两个Y向电涡流传感器、一个Y向光栅尺和一个X向容栅尺。八个Z向电涡流传感器平均分为四组，每组测一个位置上的动子悬浮高度。所述方法首先确定各Z向电涡流传感器在固定坐标系中的位置；将各Z向电涡流传感器坐标平移到一个重复单元内；在每组中选出当前伺服周期中靶区与散热孔不重合的一个Z向电涡流传感器的读数；对四个组在不同伺服周期中选出的读数组成的信号分别进行低通滤波，得到四组Z向电涡流传感器所在位置上的悬浮高度信号；将四组信号取平均得到动子的悬浮高度信号。本发明所提供的方法能够排除散热孔对悬浮高度测量的干扰，实现动子悬浮高度的准确测量。