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拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法

摘要

本发明提供了一种拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法。所述拼接物镜包括至少一组物镜,所述一组物镜包括相互光路连接的上、下物镜,所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上、下进水管、上、下出水管、循环水控制单元、上、下温度传感器以及至少一个下加热器;所述上、下物镜均设置于水套内,所述上进水管和上出水管设置于上物镜处,所述下进水管和下出水管设置于下物镜处,所述循环水控制单元与上、下进水管、上、下出水管连通,所述上、下温度传感器分别邻近上物镜和下物镜,至少一个所述下加热器设置于下进水管上,以通过加热器加热下进水管中的循环冷却水,从而平衡上、下物镜的温度,保证温度控制的整个均匀性。

著录项

  • 公开/公告号CN106933057B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-10-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;

    申请/专利号CN201511031916.4

  • 发明设计人 罗兵;

    申请日2015-12-31

  • 分类号

  • 代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人屈蘅

  • 地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号

  • 入库时间 2022-08-23 10:18:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-16

    授权

    授权

  • 2017-09-05

    著录事项变更 IPC(主分类):G03F7/20 变更前: 变更后: 申请日:20151231

    著录事项变更

  • 2017-09-05

    著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20151231

    著录事项变更

  • 2017-08-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20151231

    实质审查的生效

  • 2017-08-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20151231

    实质审查的生效

  • 2017-08-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20151231

    实质审查的生效

  • 2017-07-07

    公开

    公开

  • 2017-07-07

    公开

    公开

  • 2017-07-07

    公开

    公开

  • 2017-07-07

    公开

    公开

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