一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统

摘要

本发明公开了一种穿透式微振动空气弹簧隔振系统，包括：垂直立式真空罐、内层衍架结构、高刚性环梁式台座、气浮隔振装置结构支撑部分及主体结构支撑部分。本发明通过利用柔性真空波纹管将垂直立式精密装备容器与内置工艺支撑平台分开，成为两个相对独立的支撑结构，使高刚性环梁式台座只承担垂直立式精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动，特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中，仅允许台面上出现微量的残余振动，且检测与被检设备振动相位一致，并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。