公开/公告号CN105869978B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;
申请/专利号CN201610257320.4
申请日2012-12-13
分类号
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人寿宁
地址 美国马萨诸塞州贝佛利市
入库时间 2022-08-23 10:18:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-12
授权
授权
2016-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/244 申请日:20121213
实质审查的生效
2016-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20121213
实质审查的生效
2016-08-17
公开
公开
2016-08-17
公开
公开
机译: 为减少离子注入时间而为离子注入系统精确和可重复设置离子束以提高生产率的方法
机译: 能够改变离子束扫描区域的离子注入系统及其离子注入方法
机译: 扫描离子注入系统中的原位离子束监控