用于改进离子注入均匀性的离子束扫描系统和方法

摘要

本发明公开了离子注入系统及其扫描系统，其中提供了焦点调节装置以动态调节离子束的焦点性质，从而补偿扫描仪的至少一个时变焦点性质。用于向工件提供扫描离子束的方法，包括动态调节离子束的焦点性质，对离子束进行扫描以产生扫描离子束，以及将所述扫描离子束引导至工件。