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计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法,属于光学测量技术领域。其主要由干涉仪、被测长焦距透镜和菲涅尔波带片组成菲索干涉光路,干涉仪输出的准直平行光通过标准平面镜时,一束由标准平面镜参考面反射形成标准参考光束,另一束透过被测长焦距透镜透射、经波带片反射沿原路返回形成测试光束;测试光束与标准参考光束发生干涉,调整被测长焦距透镜,使干涉条纹最少,即可测量得到被测长焦距透镜的透射波前。本发明适用于长焦距透镜的透射波前的检测。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-10-09

    授权

    授权

  • 2017-03-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20161027

    实质审查的生效

  • 2017-03-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20161027

    实质审查的生效

  • 2017-02-22

    公开

    公开

  • 2017-02-22

    公开

    公开

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