公开/公告号CN104838498B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 美光科技公司;
申请/专利号CN201380062948.3
申请日2013-09-23
分类号
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人路勇
地址 美国爱达荷州
入库时间 2022-08-23 10:18:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-09
授权
授权
2015-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/778 申请日:20130923
实质审查的生效
2015-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/778 申请日:20130923
实质审查的生效
2015-08-12
公开
公开
2015-08-12
公开
公开
机译: 半导体装置的寄生电容测量系统中的谐振装置,半导体装置的寄生电容测量系统以及半导体装置的寄生电容测量方法
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