一种压力敏感结构以及制备该压力敏感结构的方法

摘要

本发明涉及一种MEMS压力开关，具体涉及一种压力敏感结构以及制备该压力敏感结构的方法；本发明的压力敏感结构，在硅盖板晶圆片上紧邻玻璃浆料密封环的两侧设置内、外参考墙，内、外参考墙之间设置玻璃浆料密封环，封装密封性能良好同时简化了器件结构，且上、下金属电极接触可靠、额定阈值精确可调，实现压力开关的带引线真空封装，工作可靠；同时本发明公开了该压力敏感结构的制备方法，该方法简化了压力敏感结构制备工艺流程，降低了制造成本。