法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-21
授权
授权
2016-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/27 申请日:20140729
实质审查的生效
2016-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/27 申请日:20140729
实质审查的生效
2015-02-11
公开
公开
2015-02-11
公开
公开
机译: 同心度测量设备和方法,垂直度测量设备和方法以及同心度垂直度测量设备和方法
机译: 同心度测量设备和使用该设备的同心度测量方法
机译: 评价用于形成绝缘膜的硅氧烷的方法,用于形成绝缘膜的涂布液,其制备方法,用于半导体器件的绝缘膜的形成方法以及用于制造该半导体膜的半导体器件的形成方法-绝缘涂层,生产流体的过程,形成用于半导体设备的绝缘涂层的过程,以及通过应用上述过程来生产半导体设备的过程)