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一种紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法

摘要

一种紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法,本发明涉及紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法。本发明是为了解决目前太赫兹共焦扫描偏振成像技术中轴向分辨率较低的问题。本发明装置包括:太赫兹激光器(1)、氦氖激光器(2)、分光片(3)、A1偏振片(4‑1)、P1离轴抛面镜(5‑1)、斩波器(6)、P2离轴抛面镜(5‑2)、M1全反镜(7‑1)、载物台(8)、M2全反镜(7‑2)、P3离轴抛面镜(5‑3)、A2偏振片(4‑2)、P4离轴抛面镜(5‑4)、P5离轴抛面镜(5‑5)、探测器一(9‑1)、探测器二(9‑2)和计算机(10)。本发明应用于成像技术领域。

著录项

  • 公开/公告号CN105572052B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-09-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨工业大学;

    申请/专利号CN201510956690.2

  • 发明设计人 周毅;李琦;

    申请日2015-12-17

  • 分类号G01N21/21(20060101);

  • 代理机构23109 哈尔滨市松花江专利商标事务所;

  • 代理人杨立超

  • 地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

  • 入库时间 2022-08-23 10:16:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-07

    授权

    授权

  • 2016-06-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/21 申请日:20151217

    实质审查的生效

  • 2016-06-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20151217

    实质审查的生效

  • 2016-05-11

    公开

    公开

  • 2016-05-11

    公开

    公开

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