一种用于太赫兹波扫描成像的X_Y扫描台设计与实现

摘要

针对太赫兹波扫描成像系统要求,在"步进电机+丝杠螺母"传动机构基础上加入光栅尺作为反馈元件,设计一种位置闭环控制的X Y扫描台.选用上位机和运动控制卡作为扫描台控制系统核心,采用VC++6.0语言,利用运动函数库开发扫描控制软件,实现扫描参数配置、 扫描轨迹生成、 运动控制等功能模块,完成扫描台定点、 连续运动.实验结果表明:扫描台稳定可靠,定位误差控制在0.05 mm以内,满足了太赫兹波扫描成像定位需求.