公开/公告号CN1303662C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人 旺宏电子股份有限公司;
申请/专利号CN02101572.4
申请日2002-01-10
分类号H01L21/66(20060101);G01R31/28(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王学强
地址 台湾省新竹科学工业园区力行路16号
入库时间 2022-08-23 08:59:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-03-07
授权
授权
2004-09-15
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-07-30
公开
公开
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