基于3D打印制备光子晶体结构LED的方法

摘要

本发明属于光电子器件领域，具体涉及一种基于3D打印制备光子晶体结构LED的方法。一种基于3D打印制备光子晶体结构LED的方法，包括以下步骤：在具有的低温成核层、非故意掺杂的GaN层、N型GaN层、多量子阱有源层及P型GaN层的外延片上先刻蚀出n型层台面，然后在n型层台面上3D打印较薄的透明导电层，并在透明导电层上3D打印光子晶体，最后在n型层上3D打印n型电极，及在没有覆盖光子晶体的透明导电层上3D打印p型电极。本发明利用3D打印制备光子晶体结构LED，形成的光子晶体图形丰富，制备工艺简单，能够有效的提高生产效率。