法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-04
授权
授权
2015-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20130507
实质审查的生效
2015-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130507
实质审查的生效
2014-03-26
公开
公开
2014-03-26
公开
公开
机译: 用于在过渡阶段进行测试的,在载体上形成内置互连结构的半导体装置和方法
机译: 用于在过渡阶段进行测试的,在载体上形成内置互连结构的半导体装置和方法
机译: 半导体器件和形成用于在过渡阶段进行测试的在载体上形成增层互连结构的方法