公开/公告号CN104977903B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201410133233.9
申请日2014-04-03
分类号G05B19/418(20060101);
代理机构31272 上海申新律师事务所;
代理人俞涤炯
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:16:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-07
授权
授权
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20140403
实质审查的生效
2015-10-14
公开
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