具有偏移量测量标记的多层结构及其偏移量的测量方法

摘要

本公开提供具有偏移量测量标记的多层结构及其偏移量的测量方法，多层结构包括：第一堆叠层；第二堆叠层；形成于该第一堆叠层上的基准图案结构；及形成于该第二堆叠层上的对位图案结构，该第一堆叠层上的基准图案结构包括第一基准图案和第二基准图案，第二堆叠层上的对位图案结构包括第一对位图案和第二对位图案，当第一堆叠层与第二堆叠层堆叠时，第一对位标记的其中之一与第一方框的其中之一在X方向对齐，第二对位标记的其中之一与第二方框的其中之一在Y方向对齐，该对齐的第一方框所对应的第一横向偏移量为第一堆叠层与第二堆叠层在X方向的偏移量，该对齐的第二方框所对应的第一纵向偏移量为第一堆叠层与第二堆叠层在Y方向的偏移量。