法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-24
授权
授权
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/00 申请日:20150901
实质审查的生效
2017-03-08
公开
公开
机译: 水底下沉积层测深采集信息的方法和水底下沉积层测深信息收集装置
机译: 一种在连续真空沉积过程中将双重蒸发源布置成具有均匀组成的合金沉积层的方法
机译: 在处理腔室中的层沉积过程中支持基质载体和掩膜载体的保持装置,在基质上沉积层的装置以及用于为基质载体和基质载体提供支持的基质载体的方法