一种三级罗茨-水环智能变频控制真空系统及其控制方法

摘要

本发明公开了一种三级罗茨‑水环智能变频控制真空系统，包括第一级大压差罗茨机械真空泵、第二级大压差罗茨机械真空泵、以及牵引液环泵，所述第一级罗茨机械真空泵和第二级罗茨机械真空泵都配备了变频电机、变频器和排气口冷凝器，所述第一级罗茨机械真空泵和第二级罗茨机械真空泵的入口端设置压力变送器，所述压力变送器和变频器均与控制柜连接，通过每一级的压力变送器给出的压力反馈值，利用变频器对罗茨机械真空泵的转速进行分别调速，并利用旁通管道进行调节压力差值。本发明利用变频器对罗茨机械真空泵的转速进行分别调速，并利用旁通管道进行调节压力差值，使得第一级罗茨机械真空泵、第二级罗茨机械真空泵的压差均衡和安全运行。