一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置

摘要

本发明涉及一种用于研究等离子体‑小分子体系反应的质谱装置。所述用于研究等离子体‑小分子体系反应的质谱装置包括等离子体‑小分子反应单元(1)，飞秒激光电离系统(2)，离子提取系统(3)，质量分析器(4)，真空腔体(5)。其中，纳秒激光溅射固体靶材用于产生等离子体，气相小分子经过毛细管进入等离子体产生区域，并且与等离子体在靶材表面附近发生反应。采用飞秒激光电离技术对反应产物进行电离，最后，结合飞行时间质谱技术对反应产物进行分析并加以确认。该装置可以准确、高效、实时地表征等离子体与气相分子反应的产物构成，为生产加工过程中所存在的实际的等离子体与气体反应的准确认知提供模型支持。